激光切割機的切割精度與激光器產生的激光輸出功率有關外，還有一個較為重要的關鍵點在于激光切割機的精密定位。關于定位技術所存在的問題，是如何使微細領域的定位技術擴展到更廣的領域，盡管已有報告提出僅利用衛東螺絲可達到納米精度的超精密定位，但大多數情況下，并不能以簡單的進給機構來完成。
尤其是像機器人哪樣，以多于一個自由度的位置、姿勢（旋轉）為目的的多自由度結構，要求必須備有粗微動結構。而且對多自由度的微動結構，為了能精密地控制運動對象在任意方向的運動，各自由度方向具有相同的運動特性，這一段也是很重要的。
若能很好地利用像采用旋轉體導向、滾動這樣在細微領域中所變現的特性的話，便能實現亞微米級單位技術。此外還有報告提出，利用滾子和滑子之間的摩擦驅動特性實現納米級超精密定位。
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